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产品目录
产品技术
产业化应用中心
我们以公司现有技术为基础，围绕国产化替代的战略需求，结合行业内最前沿的技术发展趋势和市场需求，针对先进技术和工艺性能，搭建研发平台、高端研发人才培养平台以及未来新项目、新企业发展孵化器。 产业化应用中心使公司具有前瞻应用定制化能力，可为客户提供全场景 Demo 设备线，从而能够及时响应客户的各类需求，为客户提供全方位的解决方案。
工艺开发能力
专业团队
人员配置齐全
涵盖物理、化学、材料、半导体、微电子等专业
成功案例
工艺开发经验丰富
已成功开发出10余种氧化物、氮化物及金属材料
量产工艺
熟悉ALD工艺及应用场景
可针对客户和市场需求开发可量产工艺
前瞻应用
具备丰富的行业上下游知识储备
掌握国际领先的ALD技术
产学研合作
Demo管控
客户Demo经验丰富，为量产方案提供专业性支持
专业解决方案
针对客户需求，可专业化定制解决方案
产品特性
熟悉ALD制备的薄膜特点，深入掌握其功能性应用
行业经验
熟悉ALD工艺及应用场景，涵盖半导体、光伏、新材料、新能源等领域
学术合作
与上海交通大学、南京大学.芬兰赫尔辛基大学等知名院校建立良好合作关系，共同推进ALD 技术创新发展
产品展示
应用领域
半导体
晶圆类基底
致力于开发高介电常数、金属化物等客户制程所需的薄膜材料，存储器MIM等薄膜材料；扩展性开发低温氧化硅、氮化硅，以及其他薄膜材料满足各类客户需求。
晶圆封装
晶圆类基底
致力于开发开发阻水功能薄膜，提升器件可靠性； 涉及领域包括OLED、Mini-LED、Mirco-LED等光电显示领域
柔性封装
非晶圆类基底
针对柔性基底，致力于开发阻水阻氧层、减反层、增透层、透明导电层、介电层等功能薄膜； 涉及领域包括显示的柔性封装阻水阻氧保护层，新型显示器件的包覆层等。
粉末包覆
非晶圆类基底
致力于开发离子导电界面层，人工SEI膜保护膜，锂电池正、负极保护膜，量子点/微球颗粒钝化膜、微纳催化颗粒保护膜等； 涉及领域包括液态、半固态及全固态电解质动力锂电池制造领域，光电器件领域中的量子点包覆、各类微纳催化剂颗粒包覆等。
钙钛矿光伏
非晶圆类基底
致力于开发电子传输层、空穴传输层，界面修饰层、水氧阻隔等功能膜层。涉及领域包括晶硅钙钛矿叠层电池、单结钙钛矿电池、双结钙钛矿电池、全柔钙钛矿电池。
光学减反
非晶圆类基底
致力于开发高低折射率透明氧化物膜层、新结构渐变折射率氧化物膜层，实现在420~680波段反射率＜0.1% 。涉及领域包括传统光学、SWC光学镜头。
TFT功能层
非晶圆类基底
致力于开发高载流子迁移率金属氧化物薄膜，针对器件不同需求，调节载流子迁移率可调，提升器件性能。涉及领域包括OLED、TFT等光电显示领域。
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